[23p-P06-1~16] 6.4 薄膜新材料

[23p-P06-9] 極薄Ag膜の特性に及ぼすAl界面層とスパッタガスの影響

〇森 日々輝¹、大倉 虎太郎¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹ (1.北見工大)

キーワード：クリプトン、Ag膜、界面層