[23p-P10-1~22] 12.5 有機太陽電池

[23p-P10-9] pin及びnipペロブスカイトセル構造へのCat-CVD SiN_xガスバリア膜堆積

〇Huynh ThiCam Tu¹、嶋﨑 愛²、金子 竜二²、若宮 淳志²、大平 圭介¹ (1.北陸先端大、2.京都大)

キーワード：ペロブスカイト、Cat-CVD SiNx ガスバリア膜、高温高湿試験