2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[23p-P12-1~14] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2022年3月23日(水) 16:00 〜 18:00 P12 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[23p-P12-10] スピンコートを用いた有機金属分解法により作製したTa,Nb,Ba,Sb添加SnO2薄膜の構造・電気・光学特性

〇澤畠 淳二1 (1.茨城高専)

キーワード:SnO2、MOD