[24a-E106-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[24a-E106-6] レーザー誘起気泡を用いた熱硬化性ポリマー内部への3次元流体構造作製

〇(B)鳥羽 陽一¹、髙橋 涼平¹、山田 壮平¹、花田 修賢¹ (1.弘前大学)

キーワード：レーザー誘起気泡、熱硬化性樹脂、マイクロ流体デバイス

我々の研究室では、レーザー誘起気泡を用いた熱硬化性樹脂PDMSの2・3D微細加工技術を開発した。本手法は、高速かつ高効率にPDMS基板表面もしくは内部に気泡形状を反映した流体構造を作製可能にするが、加工開始位置に形成される気泡が、レーザー走査を行う最中に徐々に膨張することを確認した。よって、本発表では、気泡が膨張する詳細について調査し、それを抑制した高品質加工が可能かどうか検討したので報告する。