[24a-E204-1~8] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[24a-E204-2] 点接触Pt/TiO₂単結晶から構成される半導体ガスセンサの水素に対する抵抗応答と、バイアス極性に応じたその極性反転

〇鈴木 拓¹、安達 裕¹、大垣 武¹、坂口 勲¹ (1.物材機構)

キーワード：半導体ガスセンサ、水素、抵抗スイッチング

抵抗スイッチングの特性は雰囲気に依存することが知られている。我々は最近、この雰囲気依存性を利用する水素センサにおいて、点接触－面接触の非対称形状電極を面内に配置することで、水素に対する抵抗応答がバイアス極性に応じて反転することを見出した。この抵抗応答の反転を利用することで、半導体ガスセンサに水素に対する選択性を付与できる可能性があるため、そのメカニズムに関して解析を行った。