[24a-E301-1~10] 3.11 Photonic structures and phenomena

[24a-E301-4] Fabrication of Diamond Photonic Crystal cavity structures

〇Satomi Ishida¹, Hidetsugu Matsukiyo², Yeting Yang¹, Toshiharu Makino³, Hiromitsu Kato³, Satoshi Iwamoto^1,2 (1.RCAST U-Tokyo, 2.IIS U-Tokyo, 3.AIST)

Keywords:Diamond, Photonic Crystal cavity structures

シリコン系・化合物系半導体材料で培ってきたナノ構造形成技術をダイヤモンドへ展開することで、１次元フォトニック結晶ナノビーム構造、ナノ共振器を含む２次元フォトニック結晶構造の作製に成功したので報告する。