[24a-E301-1~10] 3.11 フォトニック構造・現象

[24a-E301-4] ダイヤモンドフォトニック結晶共振器構造の作製

〇石田 悟己¹、松清 秀次²、楊 燁亭¹、牧野 俊晴³、加藤 宙光³、岩本 敏^1,2 (1.東大先端研、2.東大生産研、3.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、フォトニック結晶構造

シリコン系・化合物系半導体材料で培ってきたナノ構造形成技術をダイヤモンドへ展開することで、１次元フォトニック結晶ナノビーム構造、ナノ共振器を含む２次元フォトニック結晶構造の作製に成功したので報告する。