[24a-F408-1~8] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

△ [24a-F408-6] IrO_xナノシートによるCH₄センサの作製

〇(M1)梅田 竜生¹、田中 貴久¹、内田 建¹ (1.東大工)

キーワード：Ir酸化物、ガスセンサ、ナノシート

CH₄はCO₂に次いで地球温暖化に与える影響が大きい温室効果ガスであり，その排出量をモニタリングする技術の開発が不可欠である．そこで我々はIrO_xナノシートを用いて200℃で50 ppmのCH₄を検知するセンサを創出した．さらにスパッタ時のO₂流量比を増やし，IrO_xナノシートの密度を小さくすることでCH₄に対するセンサ応答が大きくなることを確認した．