[24a-F408-1~8] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[24a-F408-7] 単一材料金属酸化物センサの局所自己加熱による分子識別の検討

〇(M1)長田 紳太郎¹、高橋 綱己^1,2、本田 陽翔¹、嵯峨 渚央³、山下 薫³、椎木 陽介³、細見 拓郎^1,2、田中 航¹、金井 真樹⁴、長島 一樹^1,2、石黒 仁揮³、柳田 剛^1,4 (1.東大工、2.JSTさきがけ、3.慶大理工、4.九大先導研)

キーワード：分子識別、自己加熱、金属酸化物

環境中に存在する多種分子群の電気的な検出に向けて、分子センサアレイが盛んに研究されている。センサアレイに用いられる異種官能材料は分子群の識別に効果的であるが、異種材料の集積化は技術的な課題がある。本研究では、金属酸化物センサ薄膜チャネルのジュール熱の利用による表面温度制御（局所自己加熱）を提案し、単一センサ感応材料による多種分子群の識別可能性を検討した。