[24a-P01-1~71] 2 放射線(ポスター)

[24a-P01-64] レーザードーピング法により作製したCdTe pnダイオードに対するアニール効果の検討

〇大野 周¹、西澤 潤一²、中川 央也²、都木 克之²、田端 健人²、伊藤 哲²、青木 徹^1,2 (1.静大院情、2.静大電研)

キーワード：放射線検出器、CdTe、アニール効果

従来困難であるとされてきたCdTeに対する不純物ドーピングだが，昨今開発されたレーザードーピング法によって課題は克服されつつある．しかしCdTeは加熱処理により悪影響があることが知られていることから，アニール処理は不向きであると考えられてきた．一方私たちはpn接合型CdTeダイオードに対し加熱処理を施しても特性の劣化が見られなかったことから，これに対し加熱処理を施し，各種測定を行うことでアニール効果について検討した．