[24p-D114-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[24p-D114-6] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したカーボンナノウォールの3次元構造解析

〇近藤 博基¹、尾崎 敦士²、堤 隆嘉¹、関根 誠¹、石川 健治¹、堀 勝¹、平松 美根男³ (1.名大低温プラズマ、2.名大工、3.名城大理工)

キーワード：カーボンナノウォール、プラズマ励起化学気相堆積法、透過型電子顕微鏡法

基板上に垂直成長した多層グラフェンシートで構成された3次元ナノ構造体であるカーボンナノウォール（CNW）について、壁の膜厚変化や隣接する壁同士の接続状態など局所構造を、透過型電子顕微鏡観察によって分析した。底部から上部に向けて、壁間隔は除々に増大するのに対し、壁の厚さは一旦増大した後、再び減少することがわかった。これらは、CNWの成長に伴う、隣接する壁同士の融合と、壁先端部の先鋭化を示唆している。