[24p-D114-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [24p-D114-8] プラズマ励起化学気相堆積法におけるカーボンナノウォールの配向成長に対するイオン照射角度の効果

〇(M1)射場 信太朗¹、近藤 博基²、石川 健治²、堤 隆嘉²、平松 美根男³、関根 誠²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター、3.名城大理工)

キーワード：カーボンナノウォール