[24p-E103-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[24p-E103-1] 超ハイパワー大気圧熱プラズマジェット生成技術に関する研究

〇(M1)堀内 憲志郎¹、佐藤 拓磨¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広島大先進理工)

キーワード：プラズマ