[24p-E103-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[24p-E103-13] デバイスシミュレータを用いたTi ソース/ドレイン構造poly-Si TFTの特性評価

〇澤間 佑葵¹、岡田 竜弥¹ (1.琉球大理工)

キーワード：TFT、デバイスシミュレーション