[24p-E103-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[24p-E103-15] Neを用いてガラス上にスパッタ堆積したInSb膜のRTAによる結晶化

霜田 音吉¹、コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ¹、野口 隆¹、梶原 隆司²、佐道 泰造²、〇岡田 竜弥¹ (1.琉大工、2.九大工)

キーワード：InSb、急速熱処理