[24p-E103-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[24p-E103-3] 電圧印加機構を備えた実験室系硬X線光電子分光装置によるオペランド測定

〇西原 達平¹、町田 雅武²、小椋 厚志^1,3 (1.明治大、2.シエンタオミクロン(株)、3.明大再生可能エネルギーインスティテュート)

キーワード：HAXPES、Operand