[24p-E104-1~16] CS.8 12.6 ナノバイオテクノロジー、12.7 医用工学・バイオチップのコードシェアセッション

[24p-E104-7] ナノポアDNAシーケンサに向けた無電解金めっきナノポアの作製

〇大勝 賢樹¹、賀 智凱¹、松谷 晃宏²、真島 豊¹ (1.東工大フロンティア研、2.東工大オープンファシリティセンター)

キーワード：ナノポアDNAシーケンサ、無電解金めっき

我々は、電子線リソグラフィ(EBL)、各種エッチング技術、並びに無電解金めっき(ELGP)を組み合わせた手法を用いて、金属ナノポアを作製し、DNAシーケンシングを検討してきた。今回、ネガ型レジストを用いたEBLプロセスを最適化することにより、孔径20nmの貫通孔を作製し、ELGPを施すことで孔径3nmのポアを作製したので報告する。