2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.5】 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス/配線/集積化技術のコードシェアセッション

[24p-E105-1~13] CS.5 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス/配線/集積化技術のコードシェアセッション

2022年3月24日(木) 13:30 〜 17:00 E105 (E105)

清水 荘雄(NIMS)、株柳 翔一(キオクシア)

13:45 〜 14:00

[24p-E105-2] 強誘電体膜キャパシタにおける真性の分極反転速度の決定要因

〇鳥海 明1、右田 真司2 (1.自由業、2.産総研)

キーワード:強誘電体

強誘電体の分極反転速度の決定要因について、Landau-Khalatnikov方程式を解くことによって議論する。