PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 コメント (0) 16:00 〜 18:00 [24p-P07-3] GaAs MEMS梁共振器構造における内部モード間結合係数の測定 〇福田 喬治1、諸橋 功2、平川 一彦3,4、張 亜1 (1.農工大工、2.情報通信研究機構、3.東大生研、4.東大ナノ量子機構) キーワード:MEMS、モード間結合、結合係数