[25a-D114-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[25a-D114-4] 機械学習を用いた結晶成長物性の自動解析

〇石山 隆光¹、今城 利文¹、末益 崇¹、都甲 薫¹ (1.筑波大院)

キーワード：機械学習、結晶成長、画像認識

非晶質膜が結晶成長する過程を理解して制御するには、核発生頻度や結晶化速度、そして活性化エ ネルギーや頻度因子を知ることが重要となる。これらの値は通常、人の手で「熱処理→観察→計算」を繰り返すことによって導出されてきた。しかし、この方法は膨大な時間と労力を要し、また、測定者ごとの系統誤差が生じやすい。そこで本研究では、Ge 膜の固相成長を例とし、その場観察熱処理装置と機械学習を併用した結晶成長過程の高速かつ客観的な解析手法を提案する。