[25a-D114-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[25a-D114-7] Al-Ge合金ペーストによるSi(111)基板上へのSiGe混晶薄膜の成長

福田 啓介¹、〇宮本 聡¹、鈴木 紹太^2,3、中原 正博^1,2、ダムリン マルワン^2,3、前田 健作⁴、藤原 航三⁴、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東洋アルミ、3.阪大院工、4.東北大金研)

キーワード：SiGe薄膜、Ⅳ族混晶、結晶成長