[25a-E305-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[25a-E305-1] 水熱法による配向制御されたPbTiO₃エピタキシャル膜の低温製膜とその結晶構造評価

〇(M1)胡 雨弦¹、窪田 るりか¹、白石 貴久¹、舟窪 浩¹ (1.東工大)

キーワード：強誘電体、薄膜、チタン酸鉛

ペロブスカイト構造を持つPbTiO₃（PT）は、大きな（c/a=1.06）正方晶性を有するため、これを基本組成とする鉛系強誘電体が幅広く研究されている。本研究では(100), (110)および(111)Nb:SrTiO₃基板の上にエピタキシャル成長させたPT膜を水熱法により作製し、その結晶構造について調査したので報告する。