PDF ダウンロード スケジュール 19 いいね! 1 コメント (0) 14:00 〜 14:15 [25p-D214-5] マイクロ波プラズマCVDを用いたダイヤモンド保護膜作製と量子光源の評価 〇廣川 一樹1、福田 浩平1、汪 鵬1、谷口 尚2、波多野 睦子1、岩崎 孝之1 (1.東工大、2.NIMS) キーワード:量子光源、量子通信、マイクロ波プラズマCVD