[25p-D315-1~18] 3.9 テラヘルツ全般

[25p-D315-2] 放熱構造を持つ矩形空洞共振器集積共鳴トンネルダイオードTHz発振器

〇藤方 秀成¹、韓 非凡¹、石川 暁¹、田中 大基¹、鈴木 左文¹、浅田 雅洋¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ、共鳴トンネルダイオード

矩形型空洞共振器を集積した共鳴トンネルダイオード発振器は、小型かつ室温動作可能なデバイスであり、高出力なTHz光源として有力視されている。しかし、大面積RTDは大電流動作のためRTDが熱破壊されやすく、高出力発振は未だ得られていない。そこで、本研究では基板となるRTDエピとデバイス構造の両方に放熱構造を取り入れ、530 GHzで約200 μWの高出力発振を達成したので報告する。