[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[25p-E104-11] 撥水性と親水性を反復するPTFEプラズマポリマー薄膜

〇田口 貢士¹、富川 弥奈¹、箕浦 皓¹、山原 基裕¹、登尾 一幸¹ (1.魁半導体)

キーワード：プラズマポリマー、ポリテトラフルオロエチレン、スパッタ

PTFE(Polytetrafluoroethylene)をターゲットにプラズマポリマーを成膜し、成膜条件の変更によるスパッタ膜の特性変化の観察を行った。
そのスパッタ膜の接触角経時変化を観察したところ、撥水性と親水性を反復するプラズマポリマー膜が成膜される条件を見出した。
PTFEプラズマポリマー薄膜の特性を考察する。