[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [25p-E104-19] パルス放電プラズマを用いたCO₂メタン化に対する
放電休止時間の効果

〇長谷川 大樹¹、出口 雅史¹、山下 大輔¹、都甲 将²、鎌滝 晋礼¹、古閑 一憲^1,3、白谷 正治¹ (1.九大、2.阪大、3.自然科学研究機構)

キーワード：プラズマ、メタネーション

CCP装置においてパルス放電プラズマを用いて、プラズマoff時間を制御パラメータとしてCO2メタン化を行った。結果として、CO₂変換率とエネルギーコストは放電休止時間が短くなるほど増加し、プラズマoff時間が12.5μsのときのCO₂変換率は52%、エネルギーコストは154.9であった。プラズマoff時間を長くすることでエネルギーコストを大幅に低減出来ることが分かった。詳細は講演にて報告する。