[25p-E202-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [25p-E202-3] ITZO TFTを用いた撮像デバイス用信号増幅型画素アレイの試作

〇今村 弘毅¹、堺 俊克¹、薬師寺 秀典²、橋本 雄太²、青竹 達也²、貞光 雄一²、佐藤 弘人¹、相原 聡¹ (1.NHK技研、2.日本化薬)

キーワード：撮像デバイス、酸化物半導体、薄膜トランジスタ

単板式小型カメラの高感度化に向け，異なる波長選択性を持つ複数の有機光電変換膜と信号読み出し用TFT回路を積層した垂直色分離型の撮像デバイスの研究を進めている．従来のTFT回路では，画素内にTFTを1個配置した非増幅型画素が適用されており，外部ノイズの影響を受けやすいという課題があった．今回，画素内にTFTを3個配置して増幅型化した画素からなるアレイを試作し，選択した画素からの信号読み出し動作を実証した．