2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[25p-E203-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年3月25日(金) 13:30 〜 18:15 E203 (E203)

荒木 努(立命館大)、菊池 昭彦(上智大)、小田 将人(和歌山大)

13:30 〜 13:45

[25p-E203-1] 金属Alターゲットを用いてスパッタ堆積したアニールAlNの極性制御

〇(M1)橋本 卓実1、正直 花奈子3、上杉 謙次郎1,2、肖 世玉2、窪谷 茂幸2、三宅 秀人1,3 (1.三重大地域イノベ、2.三重大地創戦略企、3.三重大院工)

キーワード：窒化アルミニウム、極性制御、スパッタ法