[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

[25p-E305-10] 圧電マトリックスセンサフィルムを用いた応力分布計測

〇横山 諒伍¹、中嶋 宇史¹ (1.東理大応物)

キーワード：圧電体、センサーデバイス