[25p-P02-1~2] 6.5 表面物理・真空

[25p-P02-2] 機械学習による電界イオン顕微鏡像における原子位置の自動抽出

〇(M1)岡澤 正将¹、山田 瑞貴¹、疇地 悠雅²、中居 秀斗²、永井 滋一¹、畑 浩一¹ (1.三重大院工、2.三重大工)

キーワード：電界イオン顕微鏡法、機械学習、電界蒸発

FIM像で結像される原子は，結像ガスのイオン化に必要な電界強度で生じる表面上の突出したものだけであり，試料の表面原子を全て観察できない。そのため，電界蒸発によって表面原子を取り除きながらFIM像を記録することで全ての表面原子を観察する試みが成されてきた。そこで本研究では，表面原子位置の抽出に機械学習を用いることで上述の処理の自動化と高速化を試みた。