2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

3 光・フォトニクス » 3.2 材料・機器光学

[25p-P07-1~3] 3.2 材料・機器光学

2022年3月25日(金) 16:00 〜 18:00 P07 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[25p-P07-3] Layer-by-layer 法による SiO2ナノ粒子多積層膜の光学定数評価

〇大月 宥輝1、沈 用球1 (1.大阪府大院工)

キーワード:屈折率、ナノ粒子、エリプソメトリー

Layer-by-Layer(LbL 法)により、可視光領域で透明で光散乱 が無視できる SiO2ナノ粒子(SiO2-np)(粒径:20nm)の多積層膜(1-25層)を作製し、分光エリプソメトリ により光学定数や膜厚、膜質の評価を行った。結果、膜厚は積層数に対して線形的に増加し、屈折率は積層数が増加すると一定値を示した。このことから、作製した SiO2-np 多積層膜には、ナノ粒子密 度が低い表面相が存在し、積層数の増加に従い、その影響は小さくなることがわかった。