[25p-P09-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[25p-P09-11] 六方格子ホールアレイ型金属格子付SOIフォトダイオードの光検出特性

〇山本 竜爾¹、髙根 亮²、佐藤 弘明^1,2,3、猪川 洋^1,2,3 (1.静岡大工、2.静岡大院総合科学技術、3.静岡大電子研)

キーワード：SOIフォトダイオード、SPアンテナ、分光感度特性

六方格子ホールアレイ型金属格子を配したSOIフォトダイオードにおいては、金属格子の周期pとSOI導波路モードの伝搬波長λ_gとの間にλ_g = p × 3^1/2 / 2の位相整合条件が課せられ、これはライン・アンド・スペース型や正方格子ホールアレイ型の場合における条件λ_g = pとは異なる 。
本報告では、この六方格子ホールアレイ型金属格子付SOIフォトダイオードの光検出特性を詳細に調査するため、特にホールアレイの開口率に着目した分光感度特性（垂直入射）を検討した。