[25p-P12-1~2] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[25p-P12-1] 4H-SiCエピタキシャル成長層内で拡張した平行四辺形形状積層欠陥の構造解析

〇太田 千春¹、西尾 譲司¹、飯島 良介¹ (1.東芝研開センター)

キーワード：SiC、1SSF、構造解析