[26a-E102-1~6] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

△ [26a-E102-2] CNT/電極コンタクトへの NO₂ ガス吸着が CNT-FET 型ガスセンサ応答に与える影響

〇中原 正太¹、森田 貴大¹、岡本 拓也¹、大町 遼²、稲葉 優文¹、中野 道彦¹、末廣 純也¹ (1.九大シス情、2.名大物国センター)

キーワード：カーボンナノチューブ、ガスセンサ、二酸化窒素

カーボンナノチューブ（CNT）は酸化性ガスや還元性ガスに暴露することで、コンダクタンスが増加/減少することが知られている。 一方で、そのメカニズムは十分には明らかになっていない。NO₂暴露による変化として、①V_GS 正方向に推移していく応答、②V_GS 正の領域で傾きが低下する応答が見られる。本研究では電界効果トランジスタ型CNTガスセンサのNO₂暴露によるI_DS-V_GS特性の変化から、その応答メカニズムについて考察した。