[26a-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [26a-E104-5] Si(100)表面を対象とするANNポテンシャルの開発と計算精度の検証

〇佐藤 正義¹、大櫃 万聖¹、後口 拓登¹、野田 祐輔²、末岡 浩治² (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)

キーワード：表面、計算

LSIの微細化，高性能化に伴い，その製造領域となる半導体Siウェーハの表面近傍には，原子レベルで非常に高い完全性が要求されている．このため，Si表面近傍に対する注目は益々高まっている．本研究では，既存の計算手法に対し新たに機械学習を用いた計算手法，Si（100）表面用の人工ニューラルネットワーク（ANN）ポテンシャルを開発しその計算精度を検証した．