[26a-E202-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[26a-E202-3] ミストCVD成長した岩塩構造MgZnO薄膜の室温真空紫外線発光

〇小川 広太郎^1,2、高坂 亘²、日下 皓也²、芹澤 和泉¹、金子 健太郎³、山口 智広²、藤田 静雄³、本田 徹²、尾沼 猛儀² (1.オーク製作所、2.工学院大、3.京大院工)

キーワード：酸化マグネシウム亜鉛、ミスト化学気相成長、真空紫外線

我々は、真空紫外域の発光材料として期待される岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛(RS-Mg_xZn_1-xO)に注目している。これまで、ミストCVD法で成膜したRS-Mg_0.9Zn_0.1O薄膜において、最短195 nmのCL発光が得られている。本発表では、更なる短波長発光の実現を狙い、原料溶液中Mgモル比を更に増加させたRS-Mg_xZn_1-xO薄膜の成膜結果について報告する。