[26a-E203-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[26a-E203-3] 10mWクラス230nm深紫外LEDパネルの作製

〇平山 秀樹¹、大神 裕之²、祝迫 恭²、鹿嶋 行雄¹、松浦 恵理子³、飯村 一樹⁴、定 昌史¹、前田 哲利¹、篠原 秀敏⁵、古田 寛治⁶、上村 隆一郎⁶、青山 洋平⁷、岩井 武⁷、長野 丞⁸ (1.理研、2.日本タングステン、3.丸文、4.ファームロイド、5.芝浦機械、6.アルバック、7.東京応化工業、8.大日本印刷)

キーワード：深紫外LED、MOCVD、AlGaN

波長230nm以下の深紫外LEDは、生体に無害で、且つ、強力なウイルス不活化効果を有するため、有人空間におけるウイルス対策光源として注目されている。近年、SARS-COV-2ウイルスの不活化が特に注目を集めている。本研究では、短波長230nmLEDの並列実装を行い、10mWクラスの深紫外LEDパネルを実現したので報告する。