[26a-E302-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[26a-E302-10] 微分干渉顕微法によるMEMSデバイスの2次元共振特性の測定

〇飯森 未来¹、張 亜¹ (1.農工大工)

キーワード：微分干渉顕微鏡、MEMS

MEMSデバイスの研究において共振特性の測定は必要不可欠なプロセスである．本研究では，MEMS共振器の線形および非線形共振の研究のためにストロボスコープ微分干渉顕微鏡を用いてMEMS共振器の2次元面外振動を測定した結果を報告する．