[26a-E302-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[26a-E302-4] 反射・透過型エリプソメトリー計測における透明基板内反射影響

〇茂木 壮太¹、有元 圭介¹、近藤 英一¹、金 蓮花¹、ジェローズ ベルナール² (1.山梨大、2.名古屋大)

キーワード：エリプソメトリ―