[26a-P02-1~10] 1.2 Education

[26a-P02-8] Improvement of Schottky barrier diode by using liquid metal

〇Shunya Uchida¹, Masaki Kumagai¹, Atsushi Utsumi¹ (1.NIT Maizuru)

Keywords:liquid metal, diode

半導体工学教育の一環として，半導体デバイスの作製実験が大学および高専で実施されているが，その数は多くない．そこで我々は実施数を増やすために短時間で作製できる液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの実験用教材を開発している．現在，作製したダイオードにおいて安定して整流特性を得られていない．今回，作製プロセスに熱処理を追加し，熱処理前後の電流電圧特性の比較を行ったのでその結果を報告する．