[26p-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26p-E104-9] シリコン結晶基板の品質と点欠陥 (7) 欠陥理解と制御のための6方程式

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪府大 放射線研究センター)

キーワード：シリコン結晶、格子欠陥、点欠陥

シリコン結晶の研究史はデバイスと共に５時代に分けられる1)Tr&IC55-,2)IC chip75-,3)system on Si95-,4)Power device05-,5)solar device15-。20世紀はIT社会、21世紀は地球温暖化防止に貢献している。課題の解決は6つの理論(モデル式)による。1)質量作用2)核形成3)拡散4)Voronkov境界5)応力6)グループ内保存。