[26p-E301-1~12] 3.13 半導体光デバイス

[26p-E301-4] ZnSe系有機-無機ハイブリッド紫外APDの開発 ~増倍層膜厚の最適化~

〇(M1)辻 裕哉¹、宮崎 竜一¹、中村 海輝¹、又野 陸哉¹、近添 大輝¹、有本 志優¹、阿部 友紀¹、市野 邦男¹、赤岩 和明¹ (1.鳥取大)

キーワード：ZnSe、アバランシェフォトダイオード (APD)、有機-無機ハイブリッド構造

本研究で作製するAPD素子の特徴は，ZnSeを増倍層とし正孔輸送材料のPEDOT:PSSを窓層に使用した有機-無機ハイブリッド構造で，他の材料の紫外APD素子と比べて動作電圧が30V程度と低く，ブレークダウン直前の暗電流が~1pA/mm²と低暗電流であることである．さらに，エッチングなどの素子間分離加工なしで集積化が可能である．増倍層膜厚の最適化により最大増倍率約2500倍を観測した．