15:00 〜 15:15 △ [18p-B401-8] 超高温MOVPEを用いたAlGaN成長 〇富田 敦之1、宮川 拓己1、平山 秀樹2,3、髙島 祐介1,2、直井 美貴1,2、永松 謙太郎1,2 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED研、3.理研)