15:00 〜 15:15 △ [15p-A301-7] 熱酸化処理を施した高純度半絶縁性SiC基板上n型およびp型イオン注入層の電気的性質 〇金 祺民1、具 燦淳1、金子 光顕1、木本 恒暢1 (1.京大院工)