15:15 〜 15:30 △ [18p-B401-9] スパッタ法による高Al組成AlxGa1-xNへの高濃度縮退n型ドーピング 〇(M2)西川 祐人1、前田 亮太1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)