15:00 〜 15:15 [16p-D519-3] イオンビーム誘起発光分析・イメージングを用いた粒子線微細加工(PBW)微細加工領域のその場観察技術 〇(M2)張 錦汕1、臼井 洸貴1、菊池 涼太1、加田 渉1、花泉 修1、山田 尚人2、佐藤 隆博2、石井 保行2 (1.群馬大、2.量研)