14:15 〜 14:30 [15p-A408-6] 圧力勾配式高周波マグネトロンスパッタ法を用いたアモルファス窒化炭素薄膜の作製 〇青野 祐美1、寺内 正己2、森田 恭司3、井上 祐3、神田 一浩3 (1.鹿児島大工、2.東北大多元研、3.兵県大高度研)