14:45 〜 15:00 [18p-A401-7] 連立微分方程式で記述される半導体プロセスシミュレーションの機械学習 佐藤 陸彌1、〇沓掛 健太朗2,3、原田 俊太1,3、田川 美穂1,3、宇治原 徹1,3 (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大未来研)