16:30 〜 16:45 [15p-A404-13] コンビナトリアルスパッタ法によるSi基板上(100)BiFeO3エピタキシャル薄膜の成長 〇高木 昂平1、藤村 紀文1、吉村 武1 (1.阪公大院工)