10:00 〜 10:15 [15a-E102-4] 大気圧低温プラズマで製膜する透明導電性薄膜ZnOの低抵抗化における水蒸気添加の影響 〇細谷 宣佳1、山本 雅史1、須崎 嘉文2、鹿間 共一1 (1.香川高専、2.香川大学)